ナノ中空ハイブリッド薄膜の特性評価 (2/2)

ナノ中空粒子含有薄膜の形状と物性との相関の解明 (1/1)

担当

工業技術部 [松生秀正、松田喜樹、水野金儀]
基盤技術部 [加藤正樹、菅沼幹裕]

成果

誘電率測定では、試料を4本同時に測定し容積を大きくとることにより、厚さ数10μmの薄膜でも安定して誘電率が測定できることが可能となった。
 電気化学インピーダンス法による防食性能評価については、ナノ中空粒子の表面修飾の違いにより防食性能に差があることがわかった。
 薄膜物性・構造評価については、光学測定(ヘイズ測定)およびSEM等による観察の結果、ナノ粒子の表面状態と膜中の分散状態の関係を見出した。また、ナノインデンテーション法によりナノ中空粒子含有薄膜中の粒子の分散状態が把握できることがわかった。

［地域新生コンソーシアム研究開発事業］