低膨張率・高熱伝導性基板等の研究開発 (1/1)

担当

瀬戸窯業技術センター

成果

車載用ミリ波レーダを可能にする高周波回路用セラミックス製基板の開発を行った。開発した基板は現状の樹脂基板よりも低熱膨張かつ高熱伝導性であり、かつ温度特性の調整が可能であった。次にこの基板を工業的な手段で量産するために、原料となるチタニア添加ウイルマイトの合成を行った。従来の合成工程を改良し、通常の工程で1ロットあたり２００キログラムのチタニア添加ウイルマイトの生産が可能となった。開発した基板に電極等を施す為の基板表面の洗浄方法については、有機溶剤による洗浄が有効であった。

［経済産業省戦略的基盤技術高度化支援事業］