高品質係数を有するフォルステライト誘電体素地の低温焼成技術の開発(1/2)

担当

常滑窯業技術センター 

成果

フォルステライト(Mg2SiO4)を、マイクロ波・ミリ波誘電体に要求される品質係数を維持したまま温度係数ゼロとなる焼成体を安定的に焼成するために、1200℃を下回る温度で焼成する技術開発を行った。フォルステライトの原料となるマグネシアに噴霧気相酸化合成によるものを、シリカにアルコキシド合成によるもの又は金属蒸気燃焼によるものを、焼成助剤に酸化チタンをそれぞれ用いて、湿式混合した後に一軸プレス成形し電気炉で大気圧雰囲気下で焼成した結果、焼成温度1140℃から1180℃で高純度フォルステライトを得た。

［地域ニーズ即応型］