ナノ中空ハイブリット薄膜の特性評価（1/2）

ナノ中空粒子含有薄膜の特性評価方法の確立と測定（1/1）

担当

基盤技術部
工業技術部

成果

本研究では、（１）薄膜の誘電率測定（２）電気化学インピーダンス法による防食性能評価、（３）薄膜の物性・構造評価の３項目について実施した。（１）の誘導率測定では、厚さ10μmの薄膜の誘電率が安定して測定できることを確認した。（２）の電気化学インピーダンス法による防食性能評価については、CASS試験と電気化学インピーダンス法の結果に一部関連性があることを確認した。（３）の物性評価については、SEM等による観察の結果、薄膜中のナノ中空粒子が分散ではなく凝集している状態を確認した。また、薄膜中の空孔の存在も確認した。

［地域新生コンソーシアム研究開発事業］